나노급 반도체 제조의 필수적인 증착기술로 주목받고 있는 원자층 증착기술(ALD) 관련 특허출원이 급증하고 있다.
특허청은 국내 반도체 소자와 장비업체들이 ALD 기술개발에 적극 나서면서 ALD기술 부문에서 종주국의 대열에 올라섰다고 14일 밝혔다.
특허청에 따르면 ALD기술 특허출원은 2000년부터 증가하기 시작해 2003년까지 최근 4년간 1000여건이 출원됐다.
특히 지난 2002년에는 특허출원건수가 358건에 달했고 외국인의 출원비율도 점차 증가해 올해 상반기에는 40%가 외국인 출원으로 파악되고 있다.
국내기업의 출원은 하이닉스반도체와 삼성전자가 전체의 80%를 차지해 공정기술력을 바탕으로 ALD 기술을 적용한 나노급 메모리 반도체 개발에 적극 나서고 있음을 반증했다.
/출처 : 디지털타임스 ( http://www.dt.co.kr/ )
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